---Veiledning for valg av vakuumpumpe
Når du velger en vakuumpumpe, må du være oppmerksom på følgende forhold:
1. Vakuumpumpens arbeidstrykk skal oppfylle de endelige kravene til vakuum og arbeidstrykk for vakuumutstyret. For eksempel: vakuumbelegg krever en vakuumgrad på 110-5mmHg, og vakuumgraden til den valgte vakuumpumpen må være minst 510-6mmHg. Vanligvis velges vakuumgraden til pumpen til å være en halv til én størrelsesorden høyere enn vakuumgraden til vakuumutstyret.
2. Velg arbeidspunktet til vakuumpumpen riktig. Hver type pumpe har et bestemt arbeidstrykkområde, for eksempel 10-3~10-7mmHg for en diffusjonspumpe. Innenfor et så bredt trykkområde endres pumpehastigheten til pumpen med trykket, og dens stabile arbeidstrykkområde er 510-4 ~510-6mmHg. Derfor bør arbeidspunktet til pumpen velges innenfor dette området og kan ikke tillates å arbeide under 10-8mmHg i lang tid. Et annet eksempel er at titansublimeringspumpen kan fungere ved 10-2mmHg, men dens arbeidstrykk bør være mindre enn 110-5mmHg.
3. Vakuumpumpen skal kunne slippe ut all gassen som genereres under vakuumutstyrsprosessen under sitt arbeidstrykk. 4. Kombiner vakuumpumpen på riktig måte. Siden vakuumpumper har selektive pumpeegenskaper, kan noen ganger ikke én type pumpe oppfylle pumpekravene, og flere pumper må kombineres for å utfylle hverandre for å oppfylle pumpekravene. For eksempel har en titansublimeringspumpe en høy pumpehastighet for hydrogen, men kan ikke pumpe helium, mens en tripolforstøvnings-ionepumpe (eller en diodesymmetrisk katodeforstøvnings-ionepumpe) har en viss pumpehastighet for argon. Kombinert vil vakuumanordningen oppnå en bedre vakuumgrad. I tillegg kan noen vakuumpumper ikke fungere under atmosfærisk trykk og krever forvakuum; noen vakuumpumper har utløpstrykk lavere enn atmosfærisk trykk og krever en støttepumpe, så pumpene må kombineres.
5. Krav til oljeforurensning i vakuumutstyr. Dersom utstyret strengt tatt krever oljefri, bør ulike oljefrie pumper velges, som: vannringpumper, molekylsiladsorpsjonspumper, sputterionpumper, kryogene pumper osv. Dersom kravene ikke er strenge, kan man velge å ha en oljepumpe og legg til noen anti-oljeforurensningstiltak, som å legge til kuldefeller, bafler, oljefeller osv. for å oppnå krav til rent vakuum.
6. Forstå sammensetningen av den pumpede gassen, om den inneholder kondenserbar damp, om det er partikkelstøv, om det er etsende osv. Når du velger en vakuumpumpe, må du vite gasssammensetningen og velge den tilsvarende pumpen for gassen som skal pumpes. Hvis gassen inneholder damp, partikler og etsende gasser, bør du vurdere å installere tilleggsutstyr, som kondensatorer, støvsamlere osv., på luftinntaksrørledningen til pumpen.
7. Hvilken påvirkning har oljedampen som slippes ut fra vakuumpumpen på miljøet? Hvis miljøet ikke tillater forurensning, kan du velge en oljefri vakuumpumpe eller slippe ut oljedampen utendørs.
8. Har vibrasjonen som genereres av vakuumpumpen under drift noen innvirkning på prosessen og miljøet? Hvis prosessen ikke tillater det, bør det velges en vibrasjonsfri pumpe eller det bør iverksettes antivibrasjonstiltak.
9. Pris, drift og vedlikeholdskostnader for vakuumpumper.